电子束镀膜机
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203.03/小时总时长
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收费标准
机时0元/小时 -
设备型号
定制 -
当前状态
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管理员
曲轶,李再金,李林,赵志斌,陈浩,刘盛捷 18876134344 -
放置地点
桂林洋校区桂林洋科技园C1层105
- 仪器信息
- 附件下载
- 公告
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名称
电子束镀膜机
资产编号
2002427S
型号
定制
规格
产地
中国
厂家
成都兴南科技有限责任公司
所属品牌
出产日期
购买日期
2020-09-16
所属单位
物理与电子工程学院
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
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联系电话
18876134344
联系邮箱
放置地点
桂林洋校区桂林洋科技园C1层105
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
主要规格&技术指标
一、真空室：
1、真空室结构：箱式前开门，尾箱与室体为一体化结构，304 不锈钢材料；蒸发室和抽气室为整体焊接式；箱体外表面不做油漆直接酸洗亮光不锈钢本色处理；室门、箱体外壁通冷却水（含高阀上端与真空室的连接部位），外表面为直接焊不锈钢 25*15 方形水管（耐 2-4 公斤水压）。
在真空室顶部设置起重吊环。
2、箱体尺寸：箱体内腔尺寸 Φ 720×850mm，采用整体优质 304
不锈钢材料。
3、真空室内腔表面处理要求：箱体内表面经过严格抛光处理。
4、真空室内壁衬防污板：内衬不锈钢防污板包含：室体抽气口与工作室之间的百叶窗挡板），由若干片组成，以方便拆卸、清洗。侧面防污板厚度 δ =1mm，底面防污板厚度 δ =3mm。
5、抽气口位置合理：配有 “L”型活动插板，以方便拆卸、清洗。
6、主机骨架：主机骨架采用型钢(材料：Q235-A )制造。
7、真空室内照明：真空室内配有照明碘钨灯一只，以方便观察室体内部情况及蒸发源工作状态。
8、真空室观察窗口：真空室门上设观察窗两个。
9、真空室门：采用 304 不锈钢材料，箱体门密封槽采用燕尾槽。
1、真空室结构：箱式前开门，尾箱与室体为一体化结构，304 不锈钢材料；蒸发室和抽气室为整体焊接式；箱体外表面不做油漆直接酸洗亮光不锈钢本色处理；室门、箱体外壁通冷却水（含高阀上端与真空室的连接部位），外表面为直接焊不锈钢 25*15 方形水管（耐 2-4 公斤水压）。
在真空室顶部设置起重吊环。
2、箱体尺寸：箱体内腔尺寸 Φ 720×850mm，采用整体优质 304
不锈钢材料。
3、真空室内腔表面处理要求：箱体内表面经过严格抛光处理。
4、真空室内壁衬防污板：内衬不锈钢防污板包含：室体抽气口与工作室之间的百叶窗挡板），由若干片组成，以方便拆卸、清洗。侧面防污板厚度 δ =1mm，底面防污板厚度 δ =3mm。
5、抽气口位置合理：配有 “L”型活动插板，以方便拆卸、清洗。
6、主机骨架：主机骨架采用型钢(材料：Q235-A )制造。
7、真空室内照明：真空室内配有照明碘钨灯一只，以方便观察室体内部情况及蒸发源工作状态。
8、真空室观察窗口：真空室门上设观察窗两个。
9、真空室门：采用 304 不锈钢材料，箱体门密封槽采用燕尾槽。
主要功能及特色
真空镀膜
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